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测量原理(Measurement Principle)
激光干涉法(Laser Interfere)
适用范围(Scope of Application)
用于测量直径为8inch & 12inch（300mm）透明体玻璃衬底片
测量参数(Parameter)
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Wafer |
Site |
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GF3R(TIR) |
SBIR(LTV) |
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GF3D(FPD) |
SBID(LDOF) |
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GFLR(NTV) |
SF3R(LTIR) |
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GFLD(NTD) |
SF3D(LFPD) |
|
GBIR(TTV) |
SFLR(LTIR) |
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Bow/Warp/SORI |
SFQR(LTIR) |
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THK |
SFQD(LFPD) |
测量精度(Specification)
|
Parameter |
Accuracy |
Repeatability |
|
Bow/Warp/Sori |
0.5μm |
0.2μm |
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Thickness>2mm |
0.25μm |
0.02μm |
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Thickness<2mm |
0.075μm |
0.01μm |
|
TTV |
0.05μm |
0.01μm |
测试结果(Test Result)
图形和数据(2D Drawing/3D Profile & Data)
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干涉条纹 |
TTV(2D) |
TTV(3D) |
|
Warp/Bow (2D) |
Warp/Bow (3D) |
LTV(10*10) |
