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功能实现（Function）

本机机械手臂可以搬运晶片，也可以通过手臂翻将晶圆上下表面翻转180度，然后依据上游已经测试的数据和工艺要求把来料cassette中的晶片放入相应cassette进行分类。该机可以通过选装模组扩展功能。

使用范围(Scope of Application)

基本型：4in—8in

加强型：12in

工位数量(Number of Cassette)

基本型: 6个

加强型: 3个

搬运速度(Output)

≦200片（基础搬运）

选装（Optional）

OCR识别

Aligner校准器